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Wafer ThinFilm Curve tracer
MESABH/MR/GMR/자기변형
* 박막 전용 자기 특성 측정 장비
* B-H/자기저항(MR/GMR)/자기 변형 측정
* 증착된 박막 웨이퍼 시편 측정
* Custom 시편(Wires or Powder) 측정
* 자동 시편 로딩 및 회전 기능
제품 설명
* 웨이퍼에 증착된 박막 연자성재료 자기특성 측정
* 비파괴 전체 웨이퍼 측정
* Silicon Wafer/AlTic 기판/Bulk 기반 박막필름 측정
* 박막 응용 분야 : Magnetic head/Disc/Tape, MRAM (자기저항 메모리), Magnetic Sensors 등
제품 사양
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Model |
MESA-200 |
MESA-300 |
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샘플
크기 |
2~200mm
(원형
또는 사각형 타입) |
2~300mm
(원형
또는 사각형 타입) |
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H
Max Field |
1000Oe
(80kA/m) / 옵션
2000Oe(160kA/m) |
750Oe
(60kA/m) / 옵션
2000Oe(160kA/m) |
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작동
코일 |
15”
x 18” 솔레노이드
코일 |
20”
x 25” 솔레노이드
코일 |
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B
Field range |
0.01~
10,000 nanoWeber/division | |
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옵션 장치 |
Autoloader
/ Autorotator | |
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반복성 |
<0.25%,
<0.5% for 20Å Films | |
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정확도 |
1%
or better | |
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분해능 |
0.008% of full scale | |
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Sweep
주파수
범위 |
1~ 10Hz | |
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증폭기 |
고정밀 Sinewave drive field | |
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컴퓨터 |
PC,
모니터 | |
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소프트웨어 |
Shb
AutoTest 데이터
분석 | |
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제품
크기 |
W
1220 x D 840 x H 1270mm | |
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전원 |
220VAC
20A (50/60Hz) | |
제품 특징
* 실시간 측정 (10개 루프/초당)
* 노 컷팅 웨이퍼
* 매우 작은 샘플 측정을 위한 높은 감도
* 뛰어난 정확성과 반복성
* 옵션 : 자동 시편 로딩 및 자동 회전
* 광범위한 샘플 크기 수용 및 두께
* 자기 저항(MR/GMR) 및 자기 왜곡 측정
* Br, He, Bs, HK, R, ΦR, Dispersion, Hc, Skew 값 측정
* 저 주파 사인파 Sweeps (1~10Hz)
* Max field : 1,000~2,000Oe
* Y축 감도 범위: 0.01~ 10,000nanoWb/division
* 주변 지자계 필드 제거 기능
* 웨이퍼 이동 없이 R and ΦR 프로빙
* 전자적 프로브 재구성 R/ΔR 웨이퍼 매핑
* ShbWin 측정 소프트웨어 및 외부 인터페이스 지원
옵션
