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스핀코터
AC200-EBR-CTMEBR 스핀코터 (8, 12인치)
* 정밀급 EBR 스핀코터
* 7인치 터치스크린 PLC 제어
* 최대 10,000RPM 회전
* 조각~ 8인치 이하 시험
* Shaking 제어 모드 (스텝 당 : 정회전/역회전 반복)
* 전 스텝 반복 실행 제어 모드
* 시편 진공척 (알루미늄 or 플라스틱)
* 진공펌프
제품 설명
EBR (Edge Bead Removal) + BSR (Backi side Rinse) 스핀코터
제품 사양
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Model |
AC200-EBR-CTM
(8인치) |
AC300-EBR-CTM
(12인치) |
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기능 |
EBR
/ BSR (Edge removal + Back Washing) | |
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스윙
구동 장치 |
Automatic
lifting and Swinging Edge
removal distance : 3~5mm Edge
removal accuracy : ±0.5mm | |
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디스플레이 |
7인치
풀컬러 터치스크린 (PLC 제어) | |
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속도
범위 |
20~
10,000 RPM |
20~
5,000 RPM |
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속도 정확도 |
±1RPM (±0.1) | |
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시간
설정 범위 |
0.1~
3,000S | |
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최대
가속도 |
20~10,000 RPM/S (무부하) | |
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프로그램
설정 |
Quick
mode / Programing mode (100 Groups / 100 step) | |
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모터
사양 |
서보모터
시스템 (400W) | |
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케이스
재질 |
본체
: SUS, 볼 내부 : HDPE 부식방지 | |
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안전
장치 |
진공
및 덮개 스위치 연동 장치 (Off 시 자동 멈춤 기능) | |
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디스펜싱
기능 |
연동
펌프(옵션)와 각 스텝 별로 제어 (4개 포트 구성) | |
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압력
탱크 라인 |
2채널 (10ℓ) / 레벨센서
/ ø270 x 380Hmm / 유량조절 장치 / 옵션
(추가 채널 구성) | |
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진공
요구 사양 |
0.6~ 1kgf/cm2, 15L/min | |
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진공
인터페이스 |
Φ6mm | |
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드래인
라인 |
Φ18mm | |
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제품
크기 |
W
580 x L 710 x H 500mm (without 압력탱크) | |
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전원 |
220V |
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제품 특징
* 정회전 / 역회전 제어 모드 (각 스텝당)
* 연속 반복 제어 모드 (전체 Cycle)
* 커브 디스플레이
* PLC 터치 스크린 제어
* 외형 재질 : 스테인레스
* 코팅 팬(볼) 재질 : HDPE
* 진공 인터락 시스템
* 덮개 인터락 시스템
* 각 RPM 당 디스펜서 연동적용 (옵션/연동펌프)
* 덮개 홀 삽입구
* 전면부 진공 메뉴얼 제어 장치
옵션
* 추가 액체 디스펜서 기능 (3채널~)
* 추가 진공 척
