본문
가스 분야
XP-703DⅢ반도체 재료 가스 탐지기
* 반도체 공장등 독성 가스를 사용하는 현장에서의 가스 누출 검사에 이용
* 수소 관련 설비의 보안에 이용
제품 사양
검지 대상 가스 : 반도체 재료가스(H2, AsH3, PH3, B2H6, SiH4)
채기 방식 : 자동흡입식
검지 원리 : 열선형반도체식
■ H2 : 검지가능 누출량: 5.07×10E-7
검지가능농도(PPM): 1.0
■ AsH3 : 검지가능 누출량: 2.53×10E-7
검지가능농도(PPM):0.5
■ B2H6 : 검지가능 누출량: 1.01×10E-7
검지가능농도(PPM): 0.2
■ SiH4 : 검지가능 누출량: 2.53×10E-7
검지가능농도(PPM): 0.5
■ PH3 : 검지가능 누출량: 1.52×10E-7
검지가능농도(PPM): 0.3
응답 시간 : 10초 이내
검지 표시 : 부저 또는 알람램프 점멸
전원 : 단3형(AA) 알칼리 전지(2개)
연속 사용 시간 : 약 12시간
(단3형 알칼리 건전지, 상온/상습 환경)
보호 등급 : IP22와 동일
사용온도범위 : 0 ~ +40℃, 85% RH 이하(결로 없을시)
크기 : 약 W38 x H130 x D32 mm (돌출부 제외)
무게 : 약 190g (전지 및 가죽 케이스 포함)
표준 부속품 : 가죽 케이스, 드레인 필터, 교체용 필터엘레멘트, 부속부품, 점검가스, 핸드 스트랩, 단3형(AA)알카라인 건전지 등
제품 특징
반도체 재료 가스 미량 누출 검지 가능
가스 농도의 변화에 의해, 경보음(단속음)의 스피드가 서서히 변화하고 고농도가 되면 연속음으로 알려주기 때문에 가스 누출 장소의 발견이 용이
한대로 다양한 반도체 재료가스(아르신, 포스핀, 시보란, 실란, 수소등)에 이용
기존 제품보다 대폭 소형, 경량화를 실현. 한손에 쏙 들어오는 컴팩트한 바디
전지 잔량 및 펌프 상태 등, 기기의 상태를 손쉽게 알수 있도록 LCD 화면 탑재.
알람 램프를 정면과 바닥면 2곳에 탑재하여, 작업중에도 경보 알람이 용이.
보호 등급IP22(JIS C 0920)상당 ※보호케이스 장착 시
옵션
지정 가능 가스
아르신[AsH3], 디클로로 실란[SiH2CI2], 디보란[B2H6], 수소[H2], 반도체 재료 가스, 포스핀[PH3], R407C, R410A
유독 가스가 있는 반도체 공장에서의 가스 누출 검사 수소 관련 장비의 안전