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가스 분야
XPS-7반도체가스 검지기 (독성가스)
* 반도체 공장 등 독성 가스를 주로 사용하는 현장에서, 가스 누출 검사 및 농도 측정에 이용.
* 가스 누출 검사 및 농도 측정에 이용.
제품 사양
가스 감지 : 반도체 제조 가스
샘플링 방법 : 추출물
감지 범위 : 사양에 따라 다름
분해능 : 풀 스케일의 1/100
표시 정확도 : 풀 스케일의 ± 10 %
알람 모드 : 2 단계 경보 유형
알람 표시 : 간헐적 인 버저, 점멸 램프
응답 시간 : 60 초 이하 (60 % 응답)
작동 온도 : 0 ~ 40 ° C
전원 : AA 알카라인 건전지 4 개 (* 1) 또는 AC 어댑터
배터리 수명 * 2
최대 12 시간 (알람없이 20 ℃에서 알칼리 건전지로)
크기 : W62 x H150 x D128mm (돌출부 제외)
무게 : 약. 1.3 키로그램
표준 액세서리 : 프로브가있는 가스 샘플링 호스, 숄더 스트랩, 4 x AA 알카라인 건전지
예비 필터
옵션 액세서리 : AC 어댑터 (100VAC / 6VDC), 센서 스토커, 로그 데이터 수집 키트
제품 특징
가스에 맞게 센서 유닛 교환이 가능하며, 1대로 다양한 반도체 재료 가스를 검지 가능.
카세트식 센서 유닛이므로 가스 검지기에 교정이 불필요, 유지보수 시간과 비용 절감.
1.3 Kg의 무게로 초 소형, 경량 타입
가스 농도의 변화에 의해 경보음의 스피드가 서서히 변화하고 고농도가 되면 연속음으로 알려주기 때문에 가스누출 장소의 발견이 용이.
옵션
아르 신 【AsH3】, 암모니아 【NH3】, 일산화탄소 【CO】, 산화 질소 【NO】, 염화수소 【HCI】, 염소 【Cl2】, 오존 【O3】, 삼 불화 염소 【ClF3】, 디클로로 실란 【SiH2Cl2】, 디 실란 【Si2H6】, 디보 란 【B2H6】, 브롬화 수소 【HBr】, 셀렌 화수소 【H2Se】, 이산화황 【SO2】, 이산화질소 【NO2】, 반도체 제조 가스, 불산 [HF], 불소 【F2】, 포스 핀 【 PH3】, 게르만 【GeH4】, 실란 【SiH4】, 황화수소 【H2S】